可屏障一體式電感

屏障可以是集成電感器，屏障蓋、右不變板和左不變板，右不變板和左不變板設(shè)有凹槽。前后夾板鉸接在鋪布兩側(cè)凹槽的前后兩側(cè)。左右不變板上設(shè)有放置槽，磁芯置于放置槽內(nèi)，磁芯的兩端分為左右不變板上的槽。屏障集成電感布置合理，主要由下殼體布局、上蓋布局和電磁線圈組成。通過(guò)右不變板、放置槽和左不變板，下放置殼布局由右不變板、放置槽和左不變板組成。屏障蓋可用作上蓋布局。帶線圈的磁芯放置在放置槽內(nèi)，并覆蓋屏蔽罩，減少對(duì)外界的電磁輻射，所幸屏蔽罩固定牢固，方便被破壞，使用方便。 通過(guò)使用集成電感耦合等離子體源來(lái)處理襯底的設(shè)備。集成電感耦合等離子體源執(zhí)行電源、屏障組件和耦合到電源的線圈。在一些實(shí)施例中，線圈以一種方式與度螺旋組和垂直延伸螺旋組一起插入。憑證的一些實(shí)施例是屏障構(gòu)件鍛煉將被用作法拉第屏障的接地構(gòu)件。減少了由襯底處理系統(tǒng)中的集成電感耦合等離子體引起的寄生損耗和等離子體的不固結(jié)。 集成電感試裝、集成電感測(cè)試儀、試模、定位模板、壓板和著陸組件。試模的頂面設(shè)有多個(gè)試模孔。測(cè)試孔由上至下分為漏斗部分和縮小部分。變徑部外壁設(shè)有電連續(xù)座，電連續(xù)座與集成電感測(cè)試儀的電連續(xù)性是連續(xù)的，定位模板可破壞放置在壓板底部。壓板的頂部有多個(gè)夾持槽，夾持槽的底面有多個(gè)銷孔。多個(gè)銷孔的位置對(duì)應(yīng)于垂直偏差中多個(gè)試驗(yàn)孔的位置。銷孔連接到定位模板的底部。壓板底部的位置裝有彈性墊。本文旨在解決現(xiàn)有集成電感測(cè)試儀在測(cè)試過(guò)程中引腳彎曲和順從性低的問(wèn)題。